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SENTECH SENDURO®MEMS 提供配置靈活性，以滿足生產(chǎn)控制和質(zhì)量控制的要求。該工具可以配置反射法和橢圓偏振法中的μ點(diǎn)測(cè)量，以及提供準(zhǔn)確測(cè)量位置的模式識(shí)別。所有測(cè)量都可以與邊緣抓取技術(shù)相結(jié)合。

SpectraRay/4 是 SENTECH 專有的光譜橢圓偏振儀軟件，包括橢圓、反射和透射數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)采集、建模、擬合和擴(kuò)展報(bào)告。它支持可變角度、多實(shí)驗(yàn)和組合光度測(cè)量。 包括一個(gè)基于 SENTECH 厚度測(cè)量和文獻(xiàn)數(shù)據(jù)的龐大而全面的材料數(shù)據(jù)庫。大量的色散模型允許對(duì)幾乎任何類型的材料進(jìn)行建模。

SENTECH SENDIRA 專為紅外 （FTIR） 而設(shè)計(jì)。這款緊湊的臺(tái)式儀器包括吹掃橢偏儀光學(xué)元件、計(jì)算機(jī)控制的測(cè)角儀、水平樣品平臺(tái)、自動(dòng)準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡、商用 FTIR 和 DTGS 或 MCT 檢測(cè)器。FTIR 在 400 cm-1 至 6,000 cm-1 （1.7 μm – 25 μm） 的光譜范圍內(nèi)提供出色的精度和高分辨率。

定制基于靈活模塊的 150 mm 探針臺(tái) FormFactor為150 mm探針臺(tái)引入了新的模塊化概念。這將使您更容易以令人難以置信的價(jià)格配置個(gè)性化探頭解決方案，以滿足當(dāng)前和未來的需求。只需選擇一個(gè)基站，并根據(jù)需要添加任意數(shù)量的特定應(yīng)用入門套件。

SENTECH SENpro 橢圓偏振光譜儀具有操作簡(jiǎn)單、測(cè)量速度快、不同入射角橢偏振測(cè)量的組合數(shù)據(jù)分析等特點(diǎn)。它的測(cè)量光譜范圍為 370 nm 至 1,050 nm。該工具的光譜范圍與先進(jìn)的軟件 SpectraRay/4 相結(jié)合，可以輕松確定單片薄膜和復(fù)雜層疊的厚度和折射率。

SENTECH SENresearch 4.0 使用快速 FTIR 橢圓偏振法分別測(cè)量高達(dá) 2,500 nm 或 3,500 nm 的近紅外光譜。它提供最寬的光譜范圍、*的信噪比和最高的可選光譜分辨率?？梢詼y(cè)量厚度達(dá) 200 μm 的硅膜。FTIR橢圓偏振儀的測(cè)量速度與二極管陣列配置相比，二極管陣列配置也可選擇高達(dá)1,700 nm。