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簡要描述：XBS300臨時膠合劑適用于大批量生產(chǎn)的通用型臨時鍵合機SUSS MicroTec的XBS300臨時鍵合平臺是新一代用于大批量生產(chǎn)的臨時鍵合機解決方案。200/300毫米晶圓鍵合平臺可以通過諸多工藝模塊的配置同時實現(xiàn)低擁有成本和工藝靈活性。
產(chǎn)品型號：XBS300廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2025-06-05訪 問 量： 741產(chǎn)品分類
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1. 產(chǎn)品概述
SUSS MicroTec的XBS300臨時鍵合平臺是新一代用于大批量生產(chǎn)的臨時鍵合機解決方案。200/300毫米晶圓鍵合平臺可以通過諸多工藝模塊的配置同時實現(xiàn)低擁有成本和工藝靈活性。
2. 設(shè)備用途/原理
XBS300支持臨時粘接的所有關(guān)鍵工藝步驟：分離層的形成、粘合劑的涂覆、低力度的晶圓粘接、紫外線固化或熱固化和冷卻。由于其靈活的配置，XBS300能夠處理所有商業(yè)上可用的臨時膠粘劑，適用于大批量生產(chǎn)的通用型臨時鍵合機。
3. 設(shè)備特點
與硅片或玻璃載片兼容；
針對相同或者不同尺寸的載片，采用切邊和中心對準；
結(jié)合GYRSET®技術(shù)，可獲得佳的涂膠均勻；
內(nèi)置無接觸，多點厚度的測量技術(shù)；
模塊化設(shè)計以實現(xiàn)可擴展的吞吐量和小化的占地面積；
支持各種粘合材料的開放平臺。
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